Localized and distributed mass detectors with high sensitivity based on thin-film bulk acoustic resonators
Campanella, Humberto (Centro Nacional de Microelectrónica)
Esteve, Jaume (Centro Nacional de Microelectrónica)
Montserrat, Josep (Centro Nacional de Microelectrónica)
Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Romano Rodríguez, Alberto (Universitat de Barcelona. Departament d'Electrònica)
American Physical Society
Fecha: |
2006 |
Resumen: |
A mass sensor based on thin-film bulk acoustic resonator, intended for biomolecular applications, is presented. The thin film is a (002) AlN membrane, sputtered over Ti/Pt on a (001) Si wafer, and released by surface micromachining of silicon. Two experiments are proposed to test the mass sensing performance of the resonators: (a) distributed loading with a MgF2 film by means of physical vapor deposition and (b) localized mass growing of a C/Pt/Ga composite using focused-ion-beam-assisted deposition, both on the top electrode. For the distributed and localized cases, the minimum detectable mass changes are 1. 58×10−8g/cm2 and 7×10−15g, respectively. |
Derechos: |
Tots els drets reservats. |
Lengua: |
Anglès |
Documento: |
Article ; recerca ; Versió publicada |
Materia: |
Sputter deposition ;
Electrodes ;
Electrodeposition ;
Nanoelectromechanical systems ;
Thin film deposition ;
Thin film devices ;
Acoustic resonators ;
AlN films ;
III-V semiconductors ;
Silicon |
Publicado en: |
Applied physics letters, Vol. 89, Issue 3 (July 2006) , p. 033507/1-033507/3, ISSN 1077-3118 |
DOI: 10.1063/1.2234305
El registro aparece en las colecciones:
Artículos >
Artículos de investigaciónArtículos >
Artículos publicados
Registro creado el 2014-02-21, última modificación el 2023-09-14