Per citar aquest document: http://ddd.uab.cat/record/66270
Monolithic mass sensor fabricated using a conventional technology with attogram resolution in air conditions
Verd Martorell, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Torres Canals, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Pérez Murano, Francesc (Institut de Microelectrònica de Barcelona (IMB-CNM))
Fraxedas i Calduch, Jordi (Institut de Ciència de Materials de Barcelona)
Esteve Tinto, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica)
Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica)
American Physical Society

Data: 2007
Resum: Monolithic mass sensors for ultrasensitive mass detection in air conditions have been fabricated using a conventional 0. 35 μm complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. The mass sensors are based on electrostatically excited submicrometer scale cantilevers integrated with CMOS electronics. The devices have been calibrated obtaining an experimental sensitivity of 6×10−11 g/cm2 Hz equivalent to 0. 9 ag/Hz for locally deposited mass. Results from time-resolved mass measurements are also presented. An evaluation of the mass resolution have been performed obtaining a value of 2. 4×10−17 g in air conditions, resulting in an improvement of these devices from previous works in terms of sensitivity, resolution, and fabrication process complexity.
Nota: Premi a l'excel·lència investigadora. Àmbit de les Ciències Tecnològiques. 2008
Drets: Tots els drets reservats
Llengua: Anglès.
Document: article ; recerca ; publishedVersion
Matèria: PREI2008 ; CMOS integrated circuits ; Cantilevers ; Time resolved spectra ; Sensors
Publicat a: Applied Physics Letters, Vol. 91, Issue 1 (July 2007) , p. 013501/1-013501/3, ISSN 1077-3118

DOI: 10.1063/1.2753120


3 p, 435.4 KB

El registre apareix a les col·leccions:
Articles > Articles de recerca
Articles > Articles publicats

 Registre creat el 2011-02-14, darrera modificació el 2016-06-11



   Favorit i Compartir