Monolithic mass sensor fabricated using a conventional technology with attogram resolution in air conditions
Verd Martorell, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Torres, Francesc 1948- (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Fraxedas, Jordi (Institut de Ciència de Materials de Barcelona)
Esteve, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
American Physical Society

Fecha:	2007
Resumen:	Monolithic mass sensors for ultrasensitive mass detection in air conditions have been fabricated using a conventional 0. 35 μm complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. The mass sensors are based on electrostatically excited submicrometer scale cantilevers integrated with CMOS electronics. The devices have been calibrated obtaining an experimental sensitivity of 6×10−11 g/cm2 Hz equivalent to 0. 9 ag/Hz for locally deposited mass. Results from time-resolved mass measurements are also presented. An evaluation of the mass resolution have been performed obtaining a value of 2. 4×10−17 g in air conditions, resulting in an improvement of these devices from previous works in terms of sensitivity, resolution, and fabrication process complexity.
Nota:	Premi a l'excel·lència investigadora. Àmbit de les Ciències Tecnològiques. 2008
Derechos:	Tots els drets reservats.
Lengua:	Anglès
Documento:	Article ; recerca ; Versió publicada
Materia:	PREI2008 ; CMOS integrated circuits ; Cantilevers ; Time resolved spectra ; Sensors
Publicado en:	Applied physics letters, Vol. 91, Issue 1 (July 2007) , p. 013501/1-013501/3, ISSN 1077-3118

DOI: 10.1063/1.2753120

3 p, 435.4 KB

El registro aparece en las colecciones:
Artículos > Artículos de investigación
Artículos > Artículos publicados