Per citar aquest document: http://ddd.uab.cat/record/98251
Obtenció de capes primes d'alúmina mitjançant "Atomic Layer Deposition"
Salvat Cantó, Jordi
Garcia Alonso, Gemma
Universitat Autònoma de Barcelona. Escola d'Enginyeria

Data: 2011
Descripció: 62 p.
Resum: En aquest projecte s'ha estudiat la posada a punt d'un equip comercial ALD per a l'obtenció de capes primes d'alúmina a escala nanomètrica utilitzant vapor d'aigua i TMA com a precursors. Per tal de comprovar a bondat de les receptes experimentals aportades pel fabricant així com comprovar alguns aspectes de la teoria ALD s'han realitzat una sèrie de mostres variant els diferents paràmetres experimentals, principalment la temperatura de deposició, el nombre de cicles, la durada del cicle i el tipus de substrat. Per a la determinació dels gruixos nanomètrics de les capes i per tant dels ritmes de creixement s'ha utilitzat la el·lipsometria, una de les poques tècniques no destructives capaç de mesurar amb gran precisió gruixos de capes o interfases de pocs àngstroms o nanòmetres. En una primera etapa s'han utilitzat els valors experimentals donats pel fabricant del sistema ALD per determinar el ritme de creixement en funció de la temperatura de dipòsit i del numero de cicles, en ambdós casos sobre diversos substrats. S'ha demostrat que el ritme de creixement augmenta lleugerament en augmentar la temperatura de dipòsit, tot i que amb una variació petita, de l'ordre del 12% en variar 70ºC la temperatura de deposició. Així mateix s'ha demostrat la linealitat del gruix amb el número de cicles, tot i que no s'observa una proporcionalitat exacta. En una segona etapa s'han optimitzat els paràmetres experimentals, bàsicament els temps de purga entre pols i pols per tal de reduir considerablement les durades dels experiments realitzats a relativament baixes temperatures. En aquest cas s'ha comprovat que es mantenien els ritmes de creixement amb una diferencia del 3,6%, 4,8% i 5,5% en optimitzar el cicles en 6,65h, 8,31h, o 8,33h, respectivament. A més, per una d'aquestes condicions s'ha demostrat que es mantenia l'alta conformitat de les capes d'alúmina. A més, s'ha realitzat un estudi de l'homogeneïtat del gruix de les capes en tota la zona de dipòsit del reactor ALD. S'ha demostrat que la variació en gruix de les capes dipositades a 120ºC és com a màxim del 6,2% en una superfície de 110 cm2. Confirmant l'excepcional control de gruixos de la tècnica ALD.
Drets: L'accés als continguts d'aquest document queda condicionat a l'acceptació de les condicions d'ús establertes per la següent llicència Creative Commons: Creative Commons
Llengua: Català.
Document: bachelorThesis
Matèria: Pel·lícules fines ; Òxid d'alumini

Adreça alternativa: http://hdl.handle.net/2072/196814


Projecte
62 p, 4.1 MB

El registre apareix a les col·leccions:
Documents de recerca > Treballs de recerca i projectes de final de carrera > Enginyeria. Projectes de final de carrera > Enginyeria de Materials. PFC

 Registre creat el 2012-08-31, darrera modificació el 2016-06-11



   Favorit i Compartir