Pàgina inicial > Articles > Articles publicats > Resultats de la cerca: 00036951v72n18

Articles publicats

  Consells de cerca
Cerca avançada
Cerca col·leccions:
Ordena'ls per: Mostrar els resultats: Format de visualizació:
Articles publicats 1 registres trobats  La cerca s'ha fet en 0.01 segons. 
1.
4 p, 414.9 KB Local oxidation of silicon surfaces by dynamic force microscopy : nanofabrication and water bridge formation / García, Ricardo (Instituto de Microelectrónica de Madrid) ; Calleja, M. (Instituto de Microelectrónica de Madrid) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; American Physical Society
Local oxidation of siliconsurfaces by atomic force microscopy is a very promising lithographic approach at nanometer scale. Here, we study the reproducibility, voltage dependence, and kinetics when the oxidation is performed by dynamic force microscopy modes. [...]
1998 - 10.1063/1.121340
Applied physics letters, Vol. 72, Issue 18 (May 1998) , p. 2295-2297  
Registre complet -

Us interessa rebre alertes sobre nous resultats d'aquesta cerca?
Definiu una alerta personal via correu electrònic o subscribiu-vos al canal RSS.
Dipòsit Digital de Documents de la UAB :: Cerca :: Lliura :: Personalitza :: Ajuda
Powered by Invenio v1.1.6
Mantingut per ddd.bib@uab.cat  :: Metadades subjectes a:
Col·laborem