Resultats globals: 1 registres trobats en 0.01 segons.
Articles, 1 registres trobats
Articles 1 registres trobats  
1.
4 p, 404.7 KB Localized and distributed mass detectors with high sensitivity based on thin-film bulk acoustic resonators / Campanella, Humberto (Centro Nacional de Microelectrónica) ; Esteve, Jaume (Centro Nacional de Microelectrónica) ; Montserrat, Josep (Centro Nacional de Microelectrónica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Romano Rodríguez, Alberto (Universitat de Barcelona. Departament d'Electrònica) ; American Physical Society
A mass sensor based on thin-film bulk acoustic resonator, intended for biomolecular applications, is presented. The thin film is a (002) AlN membrane, sputtered over Ti/Pt on a (001) Si wafer, and released by surface micromachining of silicon. [...]
2006 - 10.1063/1.2234305
Applied physics letters, Vol. 89, Issue 3 (July 2006) , p. 033507/1-033507/3  

Us interessa rebre alertes sobre nous resultats d'aquesta cerca?
Definiu una alerta personal via correu electrònic o subscribiu-vos al canal RSS.