Página principal > Resultados de la búsqueda: Obtenció de capes primes d'alúmina mitjançant "Atomic Layer Deposition"
  Consejos para la búsqueda
Búsqueda avanzada
Buscar colecciones:
Ordenar por: Mostrar resultados: Formato de visualización:
Resultados globales: 1 registros encontrados en 0.04 segundos.
Documentos de investigación, Encontrados 1 registros
Documentos de investigación Encontrados 1 registros  
1.
62 p, 4.1 MB Obtenció de capes primes d'alúmina mitjançant "Atomic Layer Deposition" / Salvat Cantó, Jordi ; García, Gemma (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Física) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola d'Enginyeria
En aquest projecte s'ha estudiat la posada a punt d'un equip comercial ALD per a l'obtenció de capes primes d'alúmina a escala nanomètrica utilitzant vapor d'aigua i TMA com a precursors. Per tal de comprovar a bondat de les receptes experimentals aportades pel fabricant així com comprovar alguns aspectes de la teoria ALD s'han realitzat una sèrie de mostres variant els diferents paràmetres experimentals, principalment la temperatura de deposició, el nombre de cicles, la durada del cicle i el tipus de substrat. [...]
2011  
Registro completo - Creative Commons

¿Le interesa recibir alertas sobre nuevos resultados de esta búsqueda?
Defina una alerta personal vía correo electrónico o subscríbase al canal RSS.
Depósito Digital de Documentos de la UAB :: Buscar :: Enviar :: Personalizar :: Ayuda
Powered by Invenio v1.1.6
Mantenido por ddd.bib@uab.cat  :: Metadatos sujetos a:
Colaboramos