c48faf417c6f193334204661e73cb50e  pmc_30407413.pdf	/mnt/CLARIION/ddd/pub/artpub/2016/167627/micromachines_a2016m3v7n3p40.pdf	/mnt/CLARIION/ddd/pub/artpub/2016/2016/pmc_30407413/pmc_30407413.pdf