En soumettant un solide à un bombardement ionique, on constate, à partird'un certain niveau d'énergie de collision des ions, une érosion de la surface du matériau bombardé, appelé cible. Les atomes libérés se trouvent ejectés dans l'espace environnant. Sous vide, les atomes explusés traverse l'enceinte et viennent se déposer sur le subtrat à recouvrir.