Le plasma sta-tionnaireest créé par décharge ther-moioniqueentre une cathode chaude (qui peut être constituée de un ouplusieurs filaments chauffés par lepassage d'un courant) et une anode(généralement les parois reliées à laterre) dans un gaz en écoulement (gé-néralementde l'argon) dont la pres-sionest inférieure à 10 -3 mbar. Il résultedes collisions ionisantes entreatomes neutres et électrons " primaires" émis par les filaments et accéléréspar la différence de potentiel dedécharge qui se forme entre anode etcathode.