Optimisation de l'Implantation Ionique et du Recuit Thermique pour SiC

Optimisation de l'Implantation Ionique et du Recuit Thermique pour SiC

Veure els fitxers associats amb aquesta Tesi

AutorBlanqué, Servane
Adreça de correu electrònic sblanque@cnm.es
URLhttp://www.tdx.cat/TDX-0620105-124842
TítolOptimisation de l'Implantation Ionique et du Recuit Thermique pour SiC
Llengua Anglès
UniversitatUAB
Departament/Institut404 - DEPARTAMENT DE FISICA
Àrea de coneixement Ciències Experimentals
Matèries
  • 53 - Física
  • Dipòsit legal/ISBN B-23139-2005 / 84-68922-86-2
    Direcció de la tesi
  • Camassel, Jean. Director/a de la Tesi
  • Godignon, Philippe. Director/a de la Tesi
  • Paraules clau
  • Implantation Ionique
  • Recuit Thermique
  • SiC
  • Data de defensa20-12-2004

    Resum

    Vegeu sbresum1de1.pdf

    Documents ADVERTIMENT. La consulta d'aquesta tesi queda condicionada a l'acceptació de les següents condicions d'ús.

    La difusió d'aquesta tesi per mitjà del servei TDX ha estat autoritzada pels titulars dels drets de propietat intel.lectual únicament per a usos privats emmarcats en activitats d'investigació i docència. No s'autoritza la seva reproducció amb finalitats de lucre ni la seva difusió i posada a disposició des d'un lloc aliè al servei TDX. No s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing).

    Aquesta reserva de drets afecta tant al resum de presentació de la tesi com als seus continguts. En la utilització o cita de parts de la tesi és obligat indicar el nom de la persona autora.

  • sb1de2.pdf
  • sb2de2.pdf
  • sbresum1de1.pdf
  • NOVA CERCA
    Organization:UAB Author:Blanqué,Servane URN:http://www.tdx.cat/TDX-0620105-124842 Title:Optimisation de l'Implantation Ionique et du Recuit Thermique pour SiC Department:404 - DEPARTAMENT DE FISICA Subject:CDU53 Advisor:Camassel, Jean. Director/a de la Tesi Advisor:Godignon, Philippe. Director/a de la Tesi Keywords:Implantation Ionique Keywords:Recuit Thermique Keywords:SiC DefenseDate:20-12-2004