Fabrication of well-ordered silicon nanopillars embedded in a microchannel : Via metal-assisted chemical etching: A route towards an opto-mechanical biosensor - Solís Tinoco, Verónica Iraís (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Márquez, Salomón (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Sepúlveda, Borja (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Lechuga, Laura M (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)