Design and fabrication of an opto-mechanical antenna in the NIR range
Khosh Maram, Daniyal (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Borrisé, Xavier (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
García García, Joan (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Ruiz, Raul (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Cartoixà Soler, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)

Data:	2024
Descripció:	8 pàg.
Resum:	In this study we present a novel device for the direct transduction of optical radiation in the near-infrared region into mechanical actuation, which is based on a plasmonic optical nanoantenna integrated in a microcantilever. We propose and demonstrate the feasibility of a simple fabrication process consisting in the nano-tailoring of a commercially available Atomic Force Microscope (AFM) cantilever by means of the Focused Ion Beam (FIB) milling technique. Furthermore, the comprehensive analysis of the device performance characteristics included in this work reveals the different sensitivity values of these characteristics to the fabrication process tolerances of the most relevant geometric design parameters.
Ajuts:	Agencia Estatal de Investigación PID2021-127840NB-I00
Drets:	Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, sempre que no sigui amb finalitats comercials, i sempre que es reconegui l'autoria de l'obra original.
Llengua:	Anglès
Document:	Article ; recerca ; Versió publicada
Publicat a:	Micro and Nano Engineering, Vol. 23 (June 2024) , art. 100241, ISSN 2590-0072

DOI: 10.1016/j.mne.2024.100241

8 p, 1.9 MB

El registre apareix a les col·leccions:
Documents de recerca > Documents dels grups de recerca de la UAB > Centres i grups de recerca (producció científica) > Ciències > Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia (ICN2)
Articles > Articles de recerca
Articles > Articles publicats