Monolithic mass sensor fabricated using a conventional technology with attogram resolution in air conditions
Verd Martorell, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Torres, Francesc 1948- (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Fraxedas, Jordi (Institut de Ciència de Materials de Barcelona)
Esteve, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
American Physical Society

Data:	2007
Resum:	Monolithic mass sensors for ultrasensitive mass detection in air conditions have been fabricated using a conventional 0. 35 μm complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. The mass sensors are based on electrostatically excited submicrometer scale cantilevers integrated with CMOS electronics. The devices have been calibrated obtaining an experimental sensitivity of 6×10−11 g/cm2 Hz equivalent to 0. 9 ag/Hz for locally deposited mass. Results from time-resolved mass measurements are also presented. An evaluation of the mass resolution have been performed obtaining a value of 2. 4×10−17 g in air conditions, resulting in an improvement of these devices from previous works in terms of sensitivity, resolution, and fabrication process complexity.
Nota:	Premi a l'excel·lència investigadora. Àmbit de les Ciències Tecnològiques. 2008
Drets:	Aquest material està protegit per drets d'autor i/o drets afins. Podeu utilitzar aquest material en funció del que permet la legislació de drets d'autor i drets afins d'aplicació al vostre cas. Per a d'altres usos heu d'obtenir permís del(s) titular(s) de drets.
Llengua:	Anglès
Document:	Article ; recerca ; Versió publicada
Matèria:	PREI2008 ; CMOS integrated circuits ; Cantilevers ; Time resolved spectra ; Sensors
Publicat a:	Applied physics letters, Vol. 91, Issue 1 (July 2007) , p. 013501/1-013501/3, ISSN 1077-3118

DOI: 10.1063/1.2753120

3 p, 435.4 KB

El registre apareix a les col·leccions:
Articles > Articles de recerca
Articles > Articles publicats