Published articles

Published articles 1 records found  Search took 0.00 seconds. 
1.
3 p, 435.4 KB Monolithic mass sensor fabricated using a conventional technology with attogram resolution in air conditions / Verd Martorell, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Torres Canals, Francisco (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fraxedas i Calduch, Jordi (Institut de Ciència de Materials de Barcelona) ; Esteve Tinto, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; American Physical Society
Monolithic mass sensors for ultrasensitive mass detection in air conditions have been fabricated using a conventional 0. 35 μm complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. The mass sensors are based on electrostatically excited submicrometer scale cantilevers integrated with CMOS electronics. [...]
2007 - 10.1063/1.2753120
Applied Physics Letters, Vol. 91, Issue 1 (July 2007) , p. 013501/1-013501/3  

Interested in being notified about new results for this query?
Set up a personal email alert or subscribe to the RSS feed.