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7 p, 1.4 MB Self-Assembled Nanofeatures in Complex Three-Dimensional Topographies via Nanoimprint and Block Copolymer Lithography Methods / Cummins, Cian (Trinity College Dublin) ; Borah, Dipu (Trinity College Dublin) ; Rasappa, Sozaraj (Tampere University of Technology) ; Senthamaraikannan, Ramsankar (Trinity College Dublin) ; Delgado Simao, Claudia (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Francone, Achille (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Kehagias, Nikolaos (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Sotomayor Torres, Clivia M. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Morris, Michael A. (Trinity College Dublin)
Achieving ultrasmall dimensions of materials and retaining high throughput are critical fabrication considerations for nanotechnology use. This article demonstrates an integrated approach for developing isolated sub-20 nm silicon oxide features through combined "top-down" and "bottom-up" methods: nanoimprint lithography (NIL) and block copolymer (BCP) lithography. [...]
2017 - 10.1021/acsomega.7b00781
ACS omega, Vol. 2, Issue 8 (August 2017) , p. 4417-4423  

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