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1.
4 p, 404.7 KB Localized and distributed mass detectors with high sensitivity based on thin-film bulk acoustic resonators / Campanella, Humberto (Centro Nacional de Microelectrónica) ; Esteve Tinto, Jaume (Centro Nacional de Microelectrónica) ; Montserrat, Josep (Centro Nacional de Microelectrónica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Romano Rodríguez, Alberto (Universitat de Barcelona. Departament d'Electrònica) ; American Physical Society
A mass sensor based on thin-film bulk acoustic resonator, intended for biomolecular applications, is presented. The thin film is a (002) AlN membrane, sputtered over Ti/Pt on a (001) Si wafer, and released by surface micromachining of silicon. [...]
2006 - 10.1063/1.2234305
Applied physics letters, Vol. 89, Issue 3 (July 2006) , p. 033507/1-033507/3  

Documentos de investigación Encontrados 1 registros  
1.
241 p, 6.4 MB Thin-film bulk acoustic wave resonators (FBAR) : fabrication, heterogeneous integration with CMOS technologies and sensor aplications / Campanella Pineda, Humberto ; Esteve Tinto, Jaume, dir. (Centro Nacional de Microelectrónica) ; Uranga del Monte, Aránzazu, dir. (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Nouet, Pascual, dir. (Université Montpellier II)
El gran impacto de la tecnología FBAR tanto en sistemas de radio frecuencia como más recientemente en sensores han motivado el desarrollo de aplicaciones integradas. Esto implica que los procesos de fabricación deberían lograr producir dispositivos resonadores con un alto factor de calidad, al tiempo que permitir la integración de los FBAR con tecnologías CMOS estándar. [...]
The high impact of FBAR on radio-frequency and, most recently, on sensing systems has motivated the development of integrated applications. This means that the fabrication process should succeed in producing high-quality-factor resonators and, at the same time, in integrating FBARs with standard CMOS technologies. [...]

Bellaterra: Universitat Autònoma de Barcelona, 2008  

Materiales académicos Encontrados 1 registros  
1.
3 p, 130.8 KB Comunicacions mòbils [25387] / Vázquez Castro, María Ángeles (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Telecomunicació i Enginyeria de Sistemes) ; Campanella, Humberto ; Morell Pérez, Antoni (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Telecomunicació i Enginyeria de Sistemes) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria
2006-07
Enginyer Tècnic de Telecomunicacions - Sistemes Electrònics [475]  

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