Pàgina inicial > Resultats de la cerca: Fernández Martínez, Daniel
  Consells de cerca
Cerca avançada
Cerca col·leccions:
Ordena'ls per: Mostrar els resultats: Format de visualizació:
Resultats globals: 3 registres trobats en 0.02 segons.
Articles, 3 registres trobats
Articles 3 registres trobats  
1.
25 p, 4.7 MB Design, fabrication, characterization and reliability study of CMOS-MEMS Lorentz-force magnetometers / Valle, Juan (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Sánchez-Chiva, Josep Maria (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fernández Martínez, Daniel (Institut de Física d'Altes Energies) ; Madrenas, Jordi (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica)
This article presents several design techniques to fabricate micro-electro-mechanical systems (MEMS) using standard complementary metal-oxide semiconductor (CMOS) processes. They were applied to fabricate high yield CMOS-MEMS shielded Lorentz-force magnetometers (LFM). [...]
2022 - 10.1038/s41378-022-00423-w
Microsystems & Nanoengineering, Vol. 8 (2022) , art. 103  
Registre complet - Creative Commons
2.
14 p, 5.6 MB Resonant MEMS pressure sensor in 180 nm CMOS technology obtained by BEOL isotropic etching / Mata-Hernandez, Diana (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fernández Martínez, Daniel (Institut de Física d'Altes Energies) ; Banerji, Saoni (University of Tartu. Institute of Technology. Intelligent Materials and Systems Laboratory) ; Madrenas, Jordi (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica)
This work presents the design and characterization of a resonant CMOS-MEMS pressure sensor manufactured in a standard 180 nm CMOS industry-compatible technology. The device consists of aluminum square plates attached together by means of tungsten vias integrated into the back end of line (BEOL) of the CMOS process. [...]
2020 - 10.3390/s20216037
Sensors (Basel, Switzerland), Vol. 20, issue 21 (Nov. 2020) , art. 6037  
Registre complet - Creative Commons
3.
20 p, 8.6 MB A CMOS-MEMS BEOL 2-axis Lorentz-Force magnetometer with device-level offset cancellation / Sánchez-Chiva, Josep Maria (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Valle, Juan (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fernández Martínez, Daniel (Institut de Física d'Altes Energies) ; Madrenas, Jordi (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Lorentz-force Microelectromechanical Systems (MEMS) magnetometers have been proposed as a replacement for magnetometers currently used in consumer electronics market. Being MEMS devices, they can be manufactured in the same die as accelerometers and gyroscopes, greatly reducing current solutions volume and costs. [...]
2020 - 10.3390/s20205899
Sensors (Basel, Switzerland), Vol. 20, issue 20 (Oct. 2020) , art. 5899  
Registre complet - Creative Commons

Us interessa rebre alertes sobre nous resultats d'aquesta cerca?
Definiu una alerta personal via correu electrònic o subscribiu-vos al canal RSS.
Dipòsit Digital de Documents de la UAB :: Cerca :: Lliura :: Personalitza :: Ajuda
Powered by Invenio v1.1.6
Mantingut per ddd.bib@uab.cat  :: Metadades subjectes a:
Col·laborem