Results overview: Found 4 records in 0.01 seconds.
Articles, 3 records found
Research literature, 1 records found
Articles 3 records found  
1.
12 p, 2.7 MB Top-down CMOS-NEMS polysilicon nanowire with piezoresistive transduction / Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Sansa Perna, Marc (Universitat Autònoma de Barcelona. Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
A top-down clamped-clamped beam integrated in a CMOS technology with a cross section of 500 nm × 280 nm has been electrostatic actuated and sensed using two different transduction methods: capacitive and piezoresistive. [...]
2015 - 10.3390/s150717036
Sensors, Vol. 15 (July 2015) , p. 17036-17047  
2.
9 p, 5.1 MB Fabrication and Measurement of a Suspended Nanochannel Microbridge Resonator Monolithically Integrated with CMOS Readout Circuitry / Vidal Álvarez, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Torres Canals, Francisco (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
We present the fabrication and characterization of a suspended microbridge resonator with an embedded nanochannel. The suspended microbridge resonator is electrostatically actuated, capacitively sensed, and monolithically integrated with complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) readout circuitry. [...]
2016 - 10.3390/mi7030040
Micromachines, Vol. 7 N. 3 (March 2016) , p. 1-9  
3.
12 p, 2.7 MB Top-Down CMOS-NEMS Polysilicon Nanowire with Piezoresistive Transduction / Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Sansa Perna Marc (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
A top-down clamped-clamped beam integrated in a CMOS technology with a cross section of 500 nm × 280 nm has been electrostatic actuated and sensed using two different transduction methods: capacitive and piezoresistive. [...]
2015
Sensors, Vol. 15 (2015) , p. 17036-1704  

Research literature 1 records found  
1.
246 p, 12.8 MB Monolithic packaging and transduction approaches for CMOS-MEMS resonators / Marigó Ferrer, Eloi ; Barniol i Beumala, Núria, dir. (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica
El gran increment en el rendiment dels MEMS i la seva aplicació a multitud de camps ha motivat la seva recerca i desenvolupament. Des de la primera demostració d'un MEMS, moltes aplicacions han sorgit, essent el camp dels sensors el seu sector més competitiu. [...]
The increasingly performance of MEMS and their applicability to a wide range of fields has motivated the research and development of such devices. From the first demonstration of MEMS several applications have grown being the field of sensors their most competitive area. [...]

[Barcelona] : Universitat Autònoma de Barcelona, 2013  

Interested in being notified about new results for this query?
Set up a personal email alert or subscribe to the RSS feed.