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17 p, 2.1 MB Nanocrystalline silicon optomechanical cavities / Navarro Urrios, Daniel (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Capuj, N.E. (Universidad de la Laguna) ; Maire, Jeremie (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Colombano Sosa, Martín (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Jaramillo Fernández, Juliana (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Chávez Ángel, Emigdio (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Martin, L.L. (Universitat Politècnica de Valencia. Centro de Tecnología Nanofotónica de Valencia) ; Mercadé, L. (Universitat Politècnica de Valencia. Centro de Tecnología Nanofotónica de Valencia) ; Griol, Amadeu (Universitat Politècnica de València. Centro de Tecnología Nanofotónica de Valencia) ; Martínez, Alejandro (Universitat Politècnica de València. Centro de Tecnología Nanofotónica de Valencia) ; Sotomayor Torres, Clivia M. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Ahopelto, Jouni (VTT Technical Research Centre of Finland)
Silicon on insulator photonics has offered a versatile platform for the recent development of integrated optomechanical circuits. However, there are some constraints such as the high cost of the wafers and limitation to a single physical device level. [...]
2018 - 10.1364/OE.26.009829
Optics express, Vol. 26, Issue 8 (April 2018) , p. 9829-9839
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