Pàgina inicial > Resultats de la cerca: Mata-Hernandez, Diana
  Consells de cerca
Cerca avançada
Cerca col·leccions:
Ordena'ls per: Mostrar els resultats: Format de visualizació:
Resultats globals: 1 registres trobats en 0.02 segons.
Articles, 1 registres trobats
Articles 1 registres trobats  
1.
14 p, 5.6 MB Resonant MEMS pressure sensor in 180 nm CMOS technology obtained by BEOL isotropic etching / Mata-Hernandez, Diana (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fernández Martínez, Daniel (Institut de Física d'Altes Energies) ; Banerji, Saoni (University of Tartu. Institute of Technology. Intelligent Materials and Systems Laboratory) ; Madrenas, Jordi (Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica)
This work presents the design and characterization of a resonant CMOS-MEMS pressure sensor manufactured in a standard 180 nm CMOS industry-compatible technology. The device consists of aluminum square plates attached together by means of tungsten vias integrated into the back end of line (BEOL) of the CMOS process. [...]
2020 - 10.3390/s20216037
Sensors (Basel, Switzerland), Vol. 20, issue 21 (Nov. 2020) , art. 6037  
Registre complet - Creative Commons

Us interessa rebre alertes sobre nous resultats d'aquesta cerca?
Definiu una alerta personal via correu electrònic o subscribiu-vos al canal RSS.
Dipòsit Digital de Documents de la UAB :: Cerca :: Lliura :: Personalitza :: Ajuda
Powered by Invenio v1.1.6
Mantingut per ddd.bib@uab.cat  :: Metadades subjectes a:
Col·laborem