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133 p, 6.0 MB Optimization of remote inductively coupled plasma for the cleaning of different optical surfaces / Moreno Fernández, Harol Aníbal, autor. ; Pellegrin, Eric, supervisor acadèmic. ; Rodríguez Viejo, Javier, supervisor acadèmic. ; Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Física.
El objetivo principal de este trabajo de investigación consistió en desarrollar un proceso de un plasma in situ acoplado inductivamente (ICP) para limpiar una variedad de diferentes revestimientos ópticos y componentes sujetos a contaminaciones por carbono. [...]
[Barcelona] : Universitat Autònoma de Barcelona, 2018.  

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