Resultados globales: 3 registros encontrados en 0.02 segundos.
Artículos, Encontrados 2 registros
Documentos de investigación, Encontrados 1 registros
Artículos Encontrados 2 registros  
1.
6 p, 1.7 MB Nanomechanical switches based on metal-insulator-metal capacitors from a standard complementary-metal-oxide semiconductor technology / Muñoz Gamarra, Jose Luis (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
We report experimental demonstrations of contact-mode nano-electromechanical switches obtained using a capacitor module based on metal-insulator-metal configuration of a standard commercial complementary metal oxide semiconductor technology. [...]
2014 - 10.1063/1.4882918
Applied physics letters, Vol. 104, Issue 24 (June 2014) , p. 243105-1/243105-5  
2.
7 p, 3.6 MB CMOS-NEMS Copper Switches Monolithically Integrated Using a 65 nm CMOS Technology / Muñoz Gamarra, Jose Luis (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
This work demonstrates the feasibility to obtain copper nanoelectromechanical (NEMS) relays using a commercial complementary metal oxide semiconductor (CMOS) technology (ST 65 nm) following an intra CMOS-MEMS approach. [...]
2016 - 10.3390/mi7020030
Micromachines, Vol. 7 Núm. 2 (February 2016) , p. 1-7  

Documentos de investigación Encontrados 1 registros  
1.
236 p, 3.6 MB NEMS/MEMS integration in submicron CMOS Technologies / Muñoz Gamarra, Jose Luis ; Barniol i Beumala, Núria, tutora (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica
La reducción de los dispositivos MEMS hasta la nano escala (NEMS) ha permitido el acceso a nuevos dominios de la física y promete revolucionar las aplicaciones de sensado. Sin embargo esta miniaturización ha sido conseguida a costa de procesos de fabicración complicados y no reproducibles. [...]
The reduction of MEMS devices dimensions to the nano scale (NEMS) has allowed them to access a host of new physics and promise to revolutionize sensing applications. However this miniaturization has been obtained at an expense of dedicated, difficult and non reproducible fabrication processes. [...]

[Barcelona] : Universitat Autònoma de Barcelona, 2015  

¿Le interesa recibir alertas sobre nuevos resultados de esta búsqueda?
Defina una alerta personal vía correo electrónico o subscríbase al canal RSS.