Results overview: Found 1 records in 0.02 seconds.
Research literature, 1 records found
Research literature 1 records found  
1.
62 p, 4.1 MB Obtenció de capes primes d'alúmina mitjançant "Atomic Layer Deposition" / Salvat Cantó, Jordi ; Garcia Alonso, Gemma (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Física) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola d'Enginyeria
En aquest projecte s'ha estudiat la posada a punt d'un equip comercial ALD per a l'obtenció de capes primes d'alúmina a escala nanomètrica utilitzant vapor d'aigua i TMA com a precursors. Per tal de comprovar a bondat de les receptes experimentals aportades pel fabricant així com comprovar alguns aspectes de la teoria ALD s'han realitzat una sèrie de mostres variant els diferents paràmetres experimentals, principalment la temperatura de deposició, el nombre de cicles, la durada del cicle i el tipus de substrat. [...]
2011  

Interested in being notified about new results for this query?
Set up a personal email alert or subscribe to the RSS feed.