Results overview: Found 8 records in 0.03 seconds.
Articles, 2 records found
Research literature, 1 records found
Course materials, 5 records found
Articles 2 records found  
1.
4 p, 355.8 KB Ultrasensitive mass sensor fully integrated with complementary metal-oxide-semiconductor circuitry / Forsen, E. (Technical University of Denmark. Department of Micro and Nanotechnology) ; Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Ghatnekar-Nilsson, S. (University of Lund. Solid State Physics and The Nanometer Consortium) ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Verd Martorell, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Sandberg, R. (Technical University of Denmark. Department of Micro and Nanotechnology) ; Svendsen, W. (Technical University of Denmark. Department of Micro and Nanotechnology) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Esteve Tinto, Jaume (Institut de Microelectrònica de Barcelona (IMB-CNM)) ; Figueras Costa, Eduardo (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Campabadal Segura, Francesca (Institut de Microelectrònica de Barcelona (IMB-CNM)) ; Montelius, L. (University of Lund. Solid State Physics and The Nanometer Consortium) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Boisen, A. (Technical University of Denmark. Department of Micro and Nanotechnology) ; American Physical Society
Nanomechanical resonators have been monolithically integrated on preprocessed complementary metal-oxide-semiconductor(CMOS) chips. Fabricatedresonatorsystems have been designed to have resonance frequencies up to 1. [...]
2005 - 10.1063/1.1999838
Applied Physics Letters, Vol. 87, Issue 4 (July 2005) , p. 043507/1- 043507/3  
2.
3 p, 435.4 KB Monolithic mass sensor fabricated using a conventional technology with attogram resolution in air conditions / Verd Martorell, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Torres Canals, Francisco (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fraxedas i Calduch, Jordi (Institut de Ciència de Materials de Barcelona) ; Esteve Tinto, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; American Physical Society
Monolithic mass sensors for ultrasensitive mass detection in air conditions have been fabricated using a conventional 0. 35 μm complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) process. The mass sensors are based on electrostatically excited submicrometer scale cantilevers integrated with CMOS electronics. [...]
2007 - 10.1063/1.2753120
Applied Physics Letters, Vol. 91, Issue 1 (July 2007) , p. 013501/1-013501/3  

Research literature 1 records found  
1.
223 p, 4.5 MB Integration of CMOS-MEMS resonators for radiofrequency applications in the VHF and UHF bands / Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Abadal Berini, Gabriel, dir. (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Aquesta tesi doctoral te com a objectiu fonamental la integració monolítica de microressonadors en una tecnologia comercial, AMS 0. 35um, tot utilitzant les capes disponibles del procés tecnològic. [...]
This thesis is focused on the monolithic integration of microresonators in a commercial CMOS technology, AMS-0. 35um, by using the standard layers of the process. The structures are released in a maskless post-CMOS process based on a wet hydrofluoric etchant. [...]

Bellaterra : Universitat Autònoma de Barcelona, 2007  

Course materials 5 records found  
1.
2 p, 73.4 KB Laboratori d'electrònica II [28205] / García García, Juan José (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Aguilera Martínez, Lídia (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fernandez Garcia, Raul ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria
2006-07
Enginyer Tècnic de Telecomunicacions - Sistemes Electrònics [475]  
2.
3 p, 31.2 KB Disseny microelectrònic [28204] / Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; López Méndez, Joan Lluís ; Sacristan Riquelme, Jorge ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria
2006-07
Enginyer Tècnic de Telecomunicacions - Sistemes Electrònics [475]  
3.
2 p, 181.4 KB Electrònica analògica [28198] / Nafría i Maqueda, Montserrat (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; García García, Juan José (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria
2006-07
Enginyer Tècnic de Telecomunicacions - Sistemes Electrònics [475]  
4.
2 p, 73.4 KB Laboratori d'electrònica II [28205] / García García, Juan José (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Aguilera Martínez, Lídia (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Fernandez Garcia, Raul ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria
2005-06
Enginyer Tècnic de Telecomunicacions - Sistemes Electrònics [475]  
5.
2 p, 214.6 KB Electrònica analògica [28198] / Nafría i Maqueda, Montserrat (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; García García, Juan José (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria
2005-06
Enginyer Tècnic de Telecomunicacions - Sistemes Electrònics [475]  

Interested in being notified about new results for this query?
Set up a personal email alert or subscribe to the RSS feed.