Pàgina inicial > Resultats de la cerca: Buckling behaviors
  Consells de cerca
Cerca avançada
Cerca col·leccions:
Ordena'ls per: Mostrar els resultats: Format de visualizació:
Resultats globals: 1 registres trobats en 0.02 segons.
Articles, 1 registres trobats
Articles 1 registres trobats  
1.
6 p, 1.1 MB Evaluating the compressive stress generated during fabrication of Si doubly clamped nanobeams with AFM / Lorenzoni, Matteo (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Llobet Sixto, Jordi (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Gramazio, Federico (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Sansa Perna, Marc (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Fraxedas, Jordi (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Pérez Murano, Francesc (Institut de Microelectrònica de Barcelona)
In this work, the authors employed Peak Force tapping and force spectroscopy to evaluate the stress generated during the fabrication of doubly clamped, suspended silicon nanobeams with rectangular section. [...]
2016 - 10.1116/1.4967930
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, Vol. 34, Issue 6 (November 2016) , art. 6KK02  
Registre complet - Creative Commons

Us interessa rebre alertes sobre nous resultats d'aquesta cerca?
Definiu una alerta personal via correu electrònic o subscribiu-vos al canal RSS.
Dipòsit Digital de Documents de la UAB :: Cerca :: Lliura :: Personalitza :: Ajuda
Powered by Invenio v1.1.6
Mantingut per ddd.bib@uab.cat  :: Metadades subjectes a:
Col·laborem