Resultats globals: 5 registres trobats en 0.02 segons.
Articles, 4 registres trobats
Documents de recerca, 1 registres trobats
Articles 4 registres trobats  
1.
12 p, 2.7 MB Top-down CMOS-NEMS polysilicon nanowire with piezoresistive transduction / Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Sansa Perna, Marc (Universitat Autònoma de Barcelona. Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
A top-down clamped-clamped beam integrated in a CMOS technology with a cross section of 500 nm × 280 nm has been electrostatic actuated and sensed using two different transduction methods: capacitive and piezoresistive. [...]
2015 - 10.3390/s150717036
Sensors, Vol. 15 (July 2015) , p. 17036-17047  
2.
7 p, 3.6 MB CMOS-NEMS Copper Switches Monolithically Integrated Using a 65 nm CMOS Technology / Muñoz Gamarra, Jose Luis (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
This work demonstrates the feasibility to obtain copper nanoelectromechanical (NEMS) relays using a commercial complementary metal oxide semiconductor (CMOS) technology (ST 65 nm) following an intra CMOS-MEMS approach. [...]
2016 - 10.3390/mi7020030
Micromachines, Vol. 7 Núm. 2 (February 2016) , p. 1-7  
3.
9 p, 5.1 MB Fabrication and Measurement of a Suspended Nanochannel Microbridge Resonator Monolithically Integrated with CMOS Readout Circuitry / Vidal Álvarez, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Torres Canals, Francisco (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
We present the fabrication and characterization of a suspended microbridge resonator with an embedded nanochannel. The suspended microbridge resonator is electrostatically actuated, capacitively sensed, and monolithically integrated with complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) readout circuitry. [...]
2016 - 10.3390/mi7030040
Micromachines, Vol. 7 N. 3 (March 2016) , p. 1-9  
4.
12 p, 2.7 MB Top-Down CMOS-NEMS Polysilicon Nanowire with Piezoresistive Transduction / Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica) ; Sansa Perna Marc (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
A top-down clamped-clamped beam integrated in a CMOS technology with a cross section of 500 nm × 280 nm has been electrostatic actuated and sensed using two different transduction methods: capacitive and piezoresistive. [...]
2015
Sensors, Vol. 15 (2015) , p. 17036-1704  

Documents de recerca 1 registres trobats  
1.
236 p, 3.6 MB NEMS/MEMS integration in submicron CMOS Technologies / Muñoz Gamarra, Jose Luis ; Barniol i Beumala, Núria, tutora (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica
La reducción de los dispositivos MEMS hasta la nano escala (NEMS) ha permitido el acceso a nuevos dominios de la física y promete revolucionar las aplicaciones de sensado. Sin embargo esta miniaturización ha sido conseguida a costa de procesos de fabicración complicados y no reproducibles. [...]
The reduction of MEMS devices dimensions to the nano scale (NEMS) has allowed them to access a host of new physics and promise to revolutionize sensing applications. However this miniaturization has been obtained at an expense of dedicated, difficult and non reproducible fabrication processes. [...]

[Barcelona] : Universitat Autònoma de Barcelona, 2015  

Us interessa rebre alertes sobre nous resultats d'aquesta cerca?
Definiu una alerta personal via correu electrònic o subscribiu-vos al canal RSS.