Página principal > Resultados de la búsqueda: NEMS
  Consejos para la búsqueda
Búsqueda avanzada
Buscar colecciones:
Ordenar por: Mostrar resultados: Formato de visualización:
Resultados globales: 6 registros encontrados en 0.02 segundos.
Artículos, Encontrados 5 registros
Documentos de investigación, Encontrados 1 registros
Artículos Encontrados 5 registros  
1.
14 p, 417.1 KB Enabling electromechanical transduction in silicon nanowire mechanical resonators fabricated by focused ion beam implantation / Llobet Sixto, Jordi (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Sansa Perna, Marc (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Gerbolés, M. (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Mestres i Andreu, Narcís (Institut de Ciència de Materials de Barcelona) ; Arbiol i Cobos, Jordi (Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats) ; Borrisé, Xavier (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Pérez Murano, Francesc (Institut de Microelectrònica de Barcelona)
We present the fabrication of silicon nanowire (SiNW) mechanical resonators by a resistless process based on focused ion beam local gallium implantation, selective silicon etching and diffusive boron doping. [...]
2014 - 10.1088/0957-4484/25/13/135302
Nanotechnology, Vol. 25, issue 13 (April 2014) , art. 135302  
Registro completo -
2.
21 p, 5.3 MB Multi-frequency resonance behaviour of a Si fractal NEMS resonator / Tzanov, Vassil (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Llobet Sixto, Jordi (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Torres, Francesc 1948- (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Pérez-Murano, Francesc (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Novel Si-based nanosize mechanical resonator has been top-down fabricated. The shape of the resonating body has been numerically derived and consists of seven star-polygons that form a fractal structure. [...]
2020 - 10.3390/nano10040811
Nanomaterials, Vol. 10, Issue 4 (April 2020) , art. 811  
Registro completo - Creative Commons
3.
12 p, 2.7 MB Top-down CMOS-NEMS polysilicon nanowire with piezoresistive transduction / Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Sansa Perna, Marc (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Pérez Murano, Francesc (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
A top-down clamped-clamped beam integrated in a CMOS technology with a cross section of 500 nm × 280 nm has been electrostatic actuated and sensed using two different transduction methods: capacitive and piezoresistive. [...]
2015 - 10.3390/s150717036
Sensors (Basel, Switzerland), Vol. 15 (July 2015) , p. 17036-17047  
Registro completo - Creative Commons
4.
7 p, 3.6 MB CMOS-NEMS Copper Switches Monolithically Integrated Using a 65 nm CMOS Technology / Muñoz Gamarra, Jose Luis (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
This work demonstrates the feasibility to obtain copper nanoelectromechanical (NEMS) relays using a commercial complementary metal oxide semiconductor (CMOS) technology (ST 65 nm) following an intra CMOS-MEMS approach. [...]
2016 - 10.3390/mi7020030
Micromachines, Vol. 7 Núm. 2 (February 2016) , p. 1-7  
Registro completo - Creative Commons
5.
9 p, 5.1 MB Fabrication and Measurement of a Suspended Nanochannel Microbridge Resonator Monolithically Integrated with CMOS Readout Circuitry / Vidal Álvarez, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Torres, Francesc 1948- (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
We present the fabrication and characterization of a suspended microbridge resonator with an embedded nanochannel. The suspended microbridge resonator is electrostatically actuated, capacitively sensed, and monolithically integrated with complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) readout circuitry. [...]
2016 - 10.3390/mi7030040
Micromachines, Vol. 7 N. 3 (March 2016) , p. 1-9  
Registro completo - Creative Commons

Documentos de investigación Encontrados 1 registros  
1.
236 p, 3.6 MB NEMS/MEMS integration in submicron CMOS Technologies / Muñoz Gamarra, Jose Luis ; Barniol i Beumala, Núria, tut. (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica
La reducción de los dispositivos MEMS hasta la nano escala (NEMS) ha permitido el acceso a nuevos dominios de la física y promete revolucionar las aplicaciones de sensado. Sin embargo esta miniaturización ha sido conseguida a costa de procesos de fabicración complicados y no reproducibles. [...]
The reduction of MEMS devices dimensions to the nano scale (NEMS) has allowed them to access a host of new physics and promise to revolutionize sensing applications. However this miniaturization has been obtained at an expense of dedicated, difficult and non reproducible fabrication processes. [...]
[Barcelona] : Universitat Autònoma de Barcelona, 2015  
Registro completo - Creative Commons

¿Le interesa recibir alertas sobre nuevos resultados de esta búsqueda?
Defina una alerta personal vía correo electrónico o subscríbase al canal RSS.
Depósito Digital de Documentos de la UAB :: Buscar :: Enviar :: Personalizar :: Ayuda
Powered by Invenio v1.1.6
Mantenido por ddd.bib@uab.cat  :: Metadatos sujetos a:
Colaboramos