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7 p, 1.9 MB Fabrication and replication of re-entrant structures by nanoimprint lithography methods / Kehagias, Nikolaos (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Francone, Achille (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Guttmann, Markus (Karlsruhe Institute of Technology) ; Winkler, Frank (Karlsruhe Institute of Technology) ; Fernández Estévez, Ariadna (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Sotomayor Torres, Clivia M. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
In this work, the authors present and demonstrate a simple method to fabricate and mass replicate re-entrant structures. The method consists of the direct imprinting of polymer mushroomlike microstructures produced by a combination of photolithography and nickel up-plating process. [...]
2018 - 10.1116/1.5048241
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, Vol. 36, Issue 6 (November 2018) , art. 6JF01  
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