Warning: Ignoring empty title search term.
Resultats globals: 1 registres trobats en 0.06 segons.
Documents de recerca, 1 registres trobats
Documents de recerca 1 registres trobats  
1.
223 p, 4.5 MB Integration of CMOS-MEMS resonators for radiofrequency applications in the VHF and UHF bands / Teva Meroño, Jordi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Abadal Berini, Gabriel, dir. (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Aquesta tesi doctoral te com a objectiu fonamental la integració monolítica de microressonadors en una tecnologia comercial, AMS 0. 35um, tot utilitzant les capes disponibles del procés tecnològic. [...]
This thesis is focused on the monolithic integration of microresonators in a commercial CMOS technology, AMS-0. 35um, by using the standard layers of the process. The structures are released in a maskless post-CMOS process based on a wet hydrofluoric etchant. [...]

Bellaterra : Universitat Autònoma de Barcelona, 2007  

Us interessa rebre alertes sobre nous resultats d'aquesta cerca?
Definiu una alerta personal via correu electrònic o subscribiu-vos al canal RSS.