Resonadores micromecanizados para su aplicación en la detección de gases / - Resultats de la cerca

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91 p, 1.6 MB

Resonadores micromecanizados para su aplicación en la detección de gases / Morata Cariñena, Marta ; Cané, Carles, dir. ; Figueras Costa, Eduardo, dir. (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Telecomunicació i Enginyeria de Sistemes
El objetivo de este trabajo consiste en diseñar, fabricar y caracterizar nuevas estructuras mecánicas micromecanizadas para su aplicación a sensores de gases. Para ello, y dentro del campo de la micromecanización como tecnología utilizada para la fabricación de sensores de gases resonantes, se han utilizado dos concepciones distintas: la micromecanización en superficie («Surface Micromachining») y la micromecanización en volumen («Bulk Micromachining»). [...]
In this work, the objective consists on design, fabricate and characterise new micromechanical structures for gas sensor application. Silicon micromechanical technology has been used for the fabrication of resonant gas sensor. [...]
Bellaterra : Universitat Autònoma de Barcelona, 2004

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