Instrumento de caracterización eléctrica a escala nanométrica
Aymerich Humet, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Blasco Jiménez, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Nafría i Maqueda, Montserrat (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Universitat Autònoma de Barcelona
Publicació: |
Madrid : Oficina Española de Patentes y Marcas, 2005 |
Descripció: |
11 pag. |
Resum: |
Comprende un microscopio de fuerzas atómicas (AFM) que incluye un dispositivo de barrido, al menos una punta, un soporte para la muestra, y medios de generación de tensión y medición de corriente, y/o generación de corriente y medición de tensión con rango dinámico de medida variable y autoseleccionable, que se conectan a la punta del AFM y/o al soporte de la muestra, los cuales comprenden al menos una unidad de fuente-medida (SMU). Varias SMU pueden formar parte de un instrumento analizador de parámetros de semiconductores (SPA), y el AFM puede ser un microscopio de fuerzas atómicas con punta conductora (CAFM). Se disponen medios de medición simultánea y sincronizada de las propiedades topográficas y eléctricas de la muestra. Se amplían los órdenes de magnitud de medida de la corriente y se obtiene una elevada flexibilidad en la definición de los ensayos eléctricos, manteniendo la resolución nanométrica en medidas topográficas y eléctricas. |
Drets: |
Tots els drets reservats. |
Llengua: |
Castellà |
Document: |
patent |
Matèria: |
Microscopia de força atòmica ;
AFM ;
SMU |
Registre creat el 2012-06-26, darrera modificació el 2024-06-22