Instrumento de caracterización eléctrica a escala nanométrica
Aymerich Humet, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Blasco Jiménez, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Nafría i Maqueda, Montserrat (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Universitat Autònoma de Barcelona

Publicació:	Madrid : Oficina Española de Patentes y Marcas, 2005
Descripció:	11 pag.
Resum:	Comprende un microscopio de fuerzas atómicas (AFM) que incluye un dispositivo de barrido, al menos una punta, un soporte para la muestra, y medios de generación de tensión y medición de corriente, y/o generación de corriente y medición de tensión con rango dinámico de medida variable y autoseleccionable, que se conectan a la punta del AFM y/o al soporte de la muestra, los cuales comprenden al menos una unidad de fuente-medida (SMU). Varias SMU pueden formar parte de un instrumento analizador de parámetros de semiconductores (SPA), y el AFM puede ser un microscopio de fuerzas atómicas con punta conductora (CAFM). Se disponen medios de medición simultánea y sincronizada de las propiedades topográficas y eléctricas de la muestra. Se amplían los órdenes de magnitud de medida de la corriente y se obtiene una elevada flexibilidad en la definición de los ensayos eléctricos, manteniendo la resolución nanométrica en medidas topográficas y eléctricas.
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Llengua:	Castellà
Document:	patent
Matèria:	Microscopia de força atòmica ; AFM ; SMU

11 p, 459.8 KB