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Integrated tunneling sensor for nanoelectromechanical systems - Sadewasser, Sascha (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Dohn, S. (Technical University of Denmark. Department of Micro and Nanotechnology) ; Boisen, A. (Technical University of Denmark. Department of Micro and Nanotechnology) ; Fonseca Chácharo, Luis Antonio (Institut de Microelectrònica de Barcelona) ; Esteve, Jaume (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; American Physical Society
 
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