Local oxidation of silicon surfaces by dynamic force microscopy : - Depósito Digital de Documentos de la UAB

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Local oxidation of silicon surfaces by dynamic force microscopy : nanofabrication and water bridge formation - García, Ricardo (Instituto de Microelectrónica de Madrid) ; Calleja, M. (Instituto de Microelectrónica de Madrid) ; Pérez Murano, Francesc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; American Physical Society

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