Per citar aquest document: http://ddd.uab.cat/record/44916
Caracterització d'oscil·ladors basats en CMOS-M/NEMS i la seva aplicació com a sensors de massa
Sansa Perna, Marc
Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Enginyeria Electrònica)
Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria

Data: 2008
Descripció: 187 p.
Resum: El present projecte tracta sobre la caracterització d'oscil·ladors basats en ressonadors micro/nanoelectromecànics (M/NEMS) i la seva aplicació com a sensors de massa. Els oscil·ladors utilitzats es basen en un pont i una palanca ressoants M/NEMS, integrats en tecnologia CMOS. En primer lloc s'ha fet una introducció teòrica als conceptes utilitzats per a entendre el funcionament i la caracterització dels dispositius. A continuació s'han realitzat proves per tal de caracteritzar els paràmetres importants per a l'ús dels oscil·ladors com a sensors de massa, com la seva estabilitat en freqüència. Per acabar s'han aplicat aquests sensors en la caracterització i modelització del flux de massa a través d'obertures de dimensions micromètriques.
Resum: El presente proyecto trata sobre la caracterización de osciladores basados en resonadores micro/nanoelectromecánicos (M/NEMS) y su aplicación como sensores de masa. Los osciladores utilizados se basan en un puente y una palanca resonantes M/NEMS, integrados en tecnología CMOS. En primer lugar se ha realizado una troducción teórica a los conceptos utilizados para entender el funcionamiento y caracterización de los dispositivos. A continuación se han realizado pruebas para caracterizar los parámetros importantes para el uso de los osciladores como sensores de masa, como su estabilidad en frecuencia. Para terminar, se han aplicados estos sensores en la caracterización y modelado del flujo de masa a través de aperturas de dimensiones micrométricas.
Resum: The aim of the present project is the characterization of micro/nanoelectromechanical (M/NEMS)-based oscillators and their application as mass sensors. The studied oscillators are based on a bridge and a cantilever resoant M/NEMS, integrated in CMOS technology. Firstly, an introduction to the concepts used to understand the operation and characterization of the devices has been written. Then important parameters for the oscillator working as a mass sensor, like his frequency stability, have been characterized. Finally, the sensors have been used in the characterization of flux passing through micrometer-size apertures.
Resum: Nota: Aquest document conté originàriament altre material i/o programari només consultable a la Biblioteca de Ciència i Tecnologia.
Drets: Aquest document està subjecte a una llicència d'ús de Creative Commons, amb la qual es permet copiar, distribuir i comunicar públicament l'obra sempre que se'n citin l'autor original, la universitat i l'escola i no se'n faci cap ús comercial ni obra derivada, tal com queda estipulat en la llicència d'ús Creative Commons
Llengua: Català.
Document: bachelorThesis
Matèria: Sistemes microelectromecànics ; Oscil·ladors elèctrics ; Ressonadors ; Metall òxid semiconductors complementaris

Adreça alternativa: http://hdl.handle.net/2072/13375


187 p, 7.3 MB

El registre apareix a les col·leccions:
Documents de recerca > Treballs de recerca i projectes de final de carrera > Enginyeria. Projectes de final de carrera > Enginyeria de Telecomunicació. PFC

 Registre creat el 2009-07-15, darrera modificació el 2016-06-11



   Favorit i Compartir