Squared PMUT with enhanced pressure sensitivities
Ledesma, Eyglis (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Zamora, Iván (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Torres, Francesc 1948- (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Uranga del Monte, Aránzazu (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Tzanov, Vassil (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Soundara-Pandian, Mohan (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)

Date:	2018
Abstract:	This study presents a squared AlN piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT). Using this PMUT greater level of output pressure and higher reception sensitivity has been achieved, compared with the state-of-the-art. Another outstanding characteristic for this PMUT is that it can be monolithically integrated on CMOS substrate, being remarkably advantageous in relation to the bonding method implemented until now.
Rights:	Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original.
Language:	Anglès
Document:	Article ; recerca ; Versió publicada
Subject:	Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) Differential excitation ; Transmitting sensitivity ; Receiving sensitivity
Published in:	Proceedings, Vol. 2 (2018) , p. 1-5, ISSN 2504-3900

DOI: 10.3390/proceedings2130925

5 p, 651.7 KB

The record appears in these collections:
Articles > Research articles
Articles > Published articles