Nanostructural changes upon substitutional Al doping in ZnO sputtered films
Landa Cánovas, Ángel R. (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid)
Santiso, José (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Agulló Rueda, Fernando (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid)
Herrero, Pilar (Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid)
Navarrete Astorga, Elena (Universidad de Málaga. Departamento de Física Aplicada)
Ochoa Martínez, E. (University of Fribourg)
Ramos Barrado, José R. (Universidad de Málaga. Departamento de Física Aplicada)
Gabás, M. (Universidad Politécnica de Madrid. Instituto de Energía Solar)

Fecha:	2019
Resumen:	Al:ZnO layers, with low and high Al content, 0. 2% and 2. 1% cat. respectively, have been prepared using the RF magnetron sputtering technique. Noticeable differences in the optical and electrical properties have been detected in these films. With doping, the resistivity decreases and the band-gap increases. The alterations in the films crystalline structure are explained in terms of the nanostructural changes induced by Al substitutional doping, such as a higher concentration of edge dislocation defects and a higher rotation of crystalline nanodomains in the plane of the films (normal to the preferential orientation c-axis) for the high content Al:ZnO layer. A complete description of such effects has been accomplished using several characterization techniques, such as X-ray diffraction, Raman spectroscopy and transmission electron microscopy. The combination of these techniques provides an exhaustive understanding of the films nanostructure.
Ayudas:	Ministerio de Economía y Competitividad MAT2014-57547-R Ministerio de Economía y Competitividad TEC2014-53906 Ministerio de Economía y Competitividad MAT2016-77100-C2-1-P Ministerio de Economía y Competitividad SEV-2013-0295
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Lengua:	Anglès
Documento:	Article ; recerca ; Versió acceptada per publicar
Materia:	TCO ; ZnO ; Al doping ; Nanostructure
Publicado en:	Ceramics international, Vol. 45, Issue 5 (April 2019) , p. 6319-6327, ISSN 0272-8842

DOI: 10.1016/j.ceramint.2018.12.116

Postprint 50 p, 4.5 MB

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