Real-time optical dimensional metrology via diffractometry for nanofabrication
Whitworth, Guy L. ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Francone, Achille ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Sotomayor Torres, Clivia M. ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Kehagias, Nikolaos ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Data: |
2020 |
Resum: |
Surface patterning technologies represent a worldwide growing industry, creating smart surfaces and micro/nanoscale device. The advent of large-area, high-speed imprinting technologies has created an ever-growing need for rapid and non-destructive dimensional metrology techniques to keep pace with the speed of production. Here we present a new real-time optical scatterometry technique, applicable at the mesoscale when optical inspection produces multiple orders of diffraction. We validate this method by inspecting multiple silicon gratings with a variety of structural parameters. These measurements are cross-referenced with FIB, SEM and scanning stylus profilometry. Finally, we measure thermally imprinted structures as a function of imprinting temperature in order to demonstrate the method suitable for in-line quality control in nanoimprint lithography. |
Ajuts: |
European Commission 721062 Ministerio de Economía y Competitividad PGC2018-101743-B-I00 Ministerio de Economía y Competitividad SEV-2017-0706
|
Nota: |
The ICN2 is funded by the CERCA programme/ Generalitat de Catalunya. |
Drets: |
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original. ![Creative Commons](/img/licenses/by.ico) |
Llengua: |
Anglès |
Document: |
Article ; recerca ; Versió publicada |
Matèria: |
Nanometrology ;
Optical techniques ;
Techniques and instrumentation |
Publicat a: |
Scientific reports, Vol. 10 (2020) , art. 5371, ISSN 2045-2322 |
DOI: 10.1038/s41598-020-61975-3
PMID: 32214137
El registre apareix a les col·leccions:
Documents de recerca >
Documents dels grups de recerca de la UAB >
Centres i grups de recerca (producció científica) >
Ciències >
Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia (ICN2)Articles >
Articles de recercaArticles >
Articles publicats
Registre creat el 2020-11-18, darrera modificació el 2023-03-15