Impact of the precursor chemistry and process conditions on the cell-to-cell variability in 1T-1R based HfO RRAM devices - Grossi, Alessandro (Università degli Studi di Ferrara. Dipartimento di Ingegneria) ; Perez, Eduardo (IHP Im Technologiepark) ; Zambelli, Cristian (Università degli Studi di Ferrara. Dipartimento di Ingegneria) ; Olivo, Piero (Università degli Studi di Ferrara. Dipartimento di Ingegneria) ; Miranda, Enrique (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Roelofs, Robin (ASM Kapeldreef) ; Woodruff, Jacob (E University Dr. ASM America) ; Raisanen, Petri (E University Dr. ASM America) ; Li, Wei (E University Dr. ASM America) ; Givens, Michael (E University Dr. ASM America) ; Costina, Ioan (IHP Im Technologiepark) ; Schubert, Markus Andreas (IHP Im Technologiepark) ; Wenger, Christian (Brandenburg Medical School Theodor Fontane)