Impact of the precursor chemistry and process conditions on the cell-to-cell variability in 1T-1R based HfO RRAM devices
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Grossi, Alessandro (Università degli Studi di Ferrara. Dipartimento di Ingegneria)
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Perez, Eduardo (IHP Im Technologiepark) ;
Zambelli, Cristian (Università degli Studi di Ferrara. Dipartimento di Ingegneria) ;
Olivo, Piero (Università degli Studi di Ferrara. Dipartimento di Ingegneria) ;
Miranda, Enrique (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ;
Roelofs, Robin (ASM Kapeldreef) ;
Woodruff, Jacob (E University Dr. ASM America) ;
Raisanen, Petri (E University Dr. ASM America) ;
Li, Wei (E University Dr. ASM America) ;
Givens, Michael (E University Dr. ASM America) ;
Costina, Ioan (IHP Im Technologiepark) ;
Schubert, Markus Andreas (IHP Im Technologiepark) ;
Wenger, Christian (Brandenburg Medical School Theodor Fontane)