Room-temperature silicon platform for GHz-frequency nanoelectro-opto-mechanical systems - Navarro Urrios, Daniel (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Colombano Sosa, Martin (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Arregui Bravo, Guillermo (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Madiot, Guilhem (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Pitanti, Alessandro (Istituto di Nanoscienze and Scuola Normale Superiore (Pisa, Itàlia)) ; Griol, Amadeu. (Universitat Politècnica de València. Nanophotonics Technology Center) ; Makkonen, Tapani (VTT Technical Research Centre of Finland Ltd) ; Ahopelto, Jouni (VTT Technical Research Centre of Finland Ltd) ; Sotomayor Torres, Clivia M. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia) ; Martínez, Alejandro (Universitat Politècnica de València. Nanophotonics Technology Center)