Design and fabrication of an opto-mechanical antenna in the NIR range
Khosh Maram, Daniyal (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Borrisé, Xavier ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
García García, Joan ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Ruiz, Raul (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Cartoixà Soler, Xavier ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Abadal Berini, Gabriel ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Fecha: |
2024 |
Descripción: |
8 pàg. |
Resumen: |
In this study we present a novel device for the direct transduction of optical radiation in the near-infrared region into mechanical actuation, which is based on a plasmonic optical nanoantenna integrated in a microcantilever. We propose and demonstrate the feasibility of a simple fabrication process consisting in the nano-tailoring of a commercially available Atomic Force Microscope (AFM) cantilever by means of the Focused Ion Beam (FIB) milling technique. Furthermore, the comprehensive analysis of the device performance characteristics included in this work reveals the different sensitivity values of these characteristics to the fabrication process tolerances of the most relevant geometric design parameters. |
Ayudas: |
Agencia Estatal de Investigación PID2021-127840NB-I00
|
Derechos: |
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, sempre que no sigui amb finalitats comercials, i sempre que es reconegui l'autoria de l'obra original. ![Creative Commons](/img/licenses/by-nc.ico) |
Lengua: |
Anglès |
Documento: |
Article ; recerca ; Versió publicada |
Publicado en: |
Micro and Nano Engineering, Vol. 23 (June 2024) , art. 100241, ISSN 2590-0072 |
DOI: 10.1016/j.mne.2024.100241
El registro aparece en las colecciones:
Documentos de investigación >
Documentos de los grupos de investigación de la UAB >
Centros y grupos de investigación (producción científica) >
Ciencias >
Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia (ICN2)Artículos >
Artículos de investigaciónArtículos >
Artículos publicados
Registro creado el 2024-05-25, última modificación el 2024-06-10