Making microelectronics research more sustainable : environmental assessment of an academic cleanroom
Zito Vanni, Guillermo (Universitat Autònoma de Barcelona. Institut de Ciència i Tecnologia Ambientals)
Petit Boix, Anna (Universitat Autònoma de Barcelona. Institut de Ciència i Tecnologia Ambientals)
Quirion, David (Institut de Microelectrònica de Barcelona)
Talens Peiró, Laura (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Química, Biològica i Ambiental)

Fecha:	2025
Resumen:	Research facilities with a focus on microelectronics hold potential for supporting a cleaner digital transformation. Their stringent work conditions in cleanrooms, however, are barely studied from an environmental perspective other than their energy efficiency. The goal of this paper is to quantify the environmental impacts of a case-study cleanroom dedicated to research on microelectronics. The life cycle assessment methodology was applied with a focus on the cleanroom's operations. As expected, a contamination-free environment has a high energy demand (4,400 kWh/m2) that generates 56% of the facility's impact on global warming and 97% on fossil resource scarcity. Purchasing renewable energy can halve the carbon emissions of cleanrooms. However, our study also shows that untreated air emissions, and the consumption of gases and metals are major areas of concern. We encourage researchers to investigate new ways of recovering metals from their processes, especially critical raw materials, that may later be translated into larger-scale strategies for the microelectronics industry. In addition, optimizing and sharing the use of the facilities with more institutions can be the way forward to preventing the construction of additional academic and industrial cleanrooms. Academic cleanrooms may then become a lighthouse for circular and less harmful electronics.
Ayudas:	European Commission 101115182 Ministerio de Ciencia e Innovación CEX2019-000940-M Agència de Gestió d'Ajuts Universitaris i de Recerca 2021/SGR-00734
Nota:	Unidad de excelencia María de Maeztu CEX2019-000940-M
Nota:	Altres ajuts: Talent UAB Santander program
Derechos:	Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, i la comunicació pública de l'obra, sempre que no sigui amb finalitats comercials, i sempre que es reconegui l'autoria de l'obra original. No es permet la creació d'obres derivades.
Lengua:	Anglès
Colección:	32nd CIRP Conference on Life Cycle Engineering (LCE2025)
Documento:	Article ; recerca ; Versió publicada
Materia:	Life cycle assessment ; Microelectronics ; Industrial ecology ; Critical raw materials ; Digitalization
Publicado en:	Procedia CIRP, Vol. 135 (2025) , p. 906-911, ISSN 2212-8271

DOI: 10.1016/j.procir.2025.01.080

6 p, 684.4 KB

El registro aparece en las colecciones:
Documentos de investigación > Documentos de los grupos de investigación de la UAB > Centros y grupos de investigación (producción científica) > Ciencias > Institut de Ciència i Tecnologia Ambientals (ICTA) > Sostenibilidad y Prevención Ambiental (Sostenipra)
Artículos > Artículos de investigación
Artículos > Artículos publicados