Real-time optical dimensional metrology via diffractometry for nanofabrication
Whitworth, Guy L. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Francone, Achille (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Sotomayor Torres, Clivia M. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Kehagias, Nikolaos (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)

Data:	2020
Resum:	Surface patterning technologies represent a worldwide growing industry, creating smart surfaces and micro/nanoscale device. The advent of large-area, high-speed imprinting technologies has created an ever-growing need for rapid and non-destructive dimensional metrology techniques to keep pace with the speed of production. Here we present a new real-time optical scatterometry technique, applicable at the mesoscale when optical inspection produces multiple orders of diffraction. We validate this method by inspecting multiple silicon gratings with a variety of structural parameters. These measurements are cross-referenced with FIB, SEM and scanning stylus profilometry. Finally, we measure thermally imprinted structures as a function of imprinting temperature in order to demonstrate the method suitable for in-line quality control in nanoimprint lithography.
Ajuts:	European Commission 721062 Ministerio de Economía y Competitividad PGC2018-101743-B-I00 Ministerio de Economía y Competitividad SEV-2017-0706
Nota:	The ICN2 is funded by the CERCA programme/ Generalitat de Catalunya.
Drets:	Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original.
Llengua:	Anglès
Document:	Article ; recerca ; Versió publicada
Matèria:	Nanometrology ; Optical techniques ; Techniques and instrumentation
Publicat a:	Scientific reports, Vol. 10 (2020) , art. 5371, ISSN 2045-2322

DOI: 10.1038/s41598-020-61975-3
PMID: 32214137

8 p, 1.5 MB

El registre apareix a les col·leccions:
Documents de recerca > Documents dels grups de recerca de la UAB > Centres i grups de recerca (producció científica) > Ciències > Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia (ICN2)
Articles > Articles de recerca
Articles > Articles publicats