Web of Science: 0 citas, Scopus: 0 citas, Google Scholar: citas
Localized thinning for strain concentration in suspended germanium membranes and optical method for precise thickness measurement
Vaccaro, Pablo Oscar (Institució Catalana de Recerca i Estudis Avançats (ICREA))
Alonso Carmona, Maria Isabel (Institut de Ciència de Materials de Barcelona (ICMAB-CSIC))
Garriga, Miquel (Institut de Ciència de Materials de Barcelona (ICMAB-CSIC))
Gutiérrez, Joffre (Institut de Ciència de Materials de Barcelona (ICMAB-CSIC))
Peró, Damià (Institut de Ciència de Materials de Barcelona (ICMAB-CSIC))
Wagner, Markus R,. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Reparaz, Juan Sebastián (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Sotomayor Torres, Clivia M. (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
Vidal, Xavier (Macquarie University. Department of Physics and Astronomy)
Carter, E.A. (University Sydney. School of Chemistry and Sydney Analytical)
Lay, P.A. (University Sydney. School of Chemistry and Sydney Analytical)
Yoshimoto, M. (Kyoto Institute of Technology. Department of Electronics)
Goñi, Alejandro R. (Institut de Ciència de Materials de Barcelona (ICMAB-CSIC))

Fecha: 2018
Resumen: We deposited Ge layers on (001) Si substrates by molecular beam epitaxy and used them to fabricate suspended membranes with high uniaxial tensile strain. We demonstrate a CMOS-compatible fabrication strategy to increase strain concentration and to eliminate the Ge buffer layer near the Ge/Si hetero-interface deposited at low temperature. This is achieved by a two-steps patterning and selective etching process. First, a bridge and neck shape is patterned in the Ge membrane, then the neck is thinned from both top and bottom sides. Uniaxial tensile strain values higher than 3% were measured by Raman scattering in a Ge membrane of 76 nm thickness. For the challenging thickness measurement on micrometer-size membranes suspended far away from the substrate a characterization method based on pump-and-probe reflectivity measurements was applied, using an asynchronous optical sampling technique.
Nota: Número d'acord de subvenció EC/FP7/628197
Nota: Número d'acord de subvenció MINECO/FIS2015-70862P
Nota: Número d'acord de subvenció MINECO/MAT2015-70850-P
Nota: Número d'acord de subvenció MINECO/SEV-2015-0496
Nota: Número d'acord de subvenció MINECO/SEV-2013-0295
Nota: Número d'acord de subvenció MINECO/CSD2010-00044
Nota: Número d'acord de subvenció AGAUR/BP-B 00211
Derechos: Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original. Creative Commons
Lengua: Anglès.
Documento: article ; recerca ; publishedVersion
Materia: Asynchronous optical samplings ; Characterization methods ; Fabrication strategies ; Localized thinning ; Reflectivity measurements ; Strain concentration ; Suspended membranes ; Uniaxial tensile strain
Publicado en: AIP advances, Vol. 8, issue 11 (November 2018) , art. 115131, ISSN 2158-3226

DOI: 10.1063/1.5050674


8 p, 1.2 MB

El registro aparece en las colecciones:
Documentos de investigación > Documentos de los grupos de investigación de la UAB > Centros y grupos de investigación (producción científica) > Ciencias > Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia (ICN2)
Artículos > Artículos de investigación
Artículos > Artículos publicados

 Registro creado el 2019-06-03, última modificación el 2019-07-18



   Favorit i Compartir