visitant ::
identificació
|
|||||||||||||||
Cerca | Lliura | Ajuda | Servei de Biblioteques | Sobre el DDD | Català English Español |
Pàgina inicial > Articles > Articles publicats > Localized thinning for strain concentration in suspended germanium membranes and optical method for precise thickness measurement |
Data: | 2018 |
Resum: | We deposited Ge layers on (001) Si substrates by molecular beam epitaxy and used them to fabricate suspended membranes with high uniaxial tensile strain. We demonstrate a CMOS-compatible fabrication strategy to increase strain concentration and to eliminate the Ge buffer layer near the Ge/Si hetero-interface deposited at low temperature. This is achieved by a two-steps patterning and selective etching process. First, a bridge and neck shape is patterned in the Ge membrane, then the neck is thinned from both top and bottom sides. Uniaxial tensile strain values higher than 3% were measured by Raman scattering in a Ge membrane of 76 nm thickness. For the challenging thickness measurement on micrometer-size membranes suspended far away from the substrate a characterization method based on pump-and-probe reflectivity measurements was applied, using an asynchronous optical sampling technique. |
Ajuts: | European Commission 628197 Ministerio de Economía y Competitividad FIS2015-70862P Ministerio de Economía y Competitividad MAT2015-70850-P Ministerio de Economía y Competitividad SEV-2015-0496 Ministerio de Economía y Competitividad SEV-2013-0295 Ministerio de Economía y Competitividad CSD2010-00044 Agència de Gestió d'Ajuts Universitaris i de Recerca BP-B 00211 |
Drets: | Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original. |
Llengua: | Anglès |
Document: | Article ; recerca ; Versió publicada |
Matèria: | Asynchronous optical samplings ; Characterization methods ; Fabrication strategies ; Localized thinning ; Reflectivity measurements ; Strain concentration ; Suspended membranes ; Uniaxial tensile strain |
Publicat a: | AIP advances, Vol. 8, issue 11 (November 2018) , art. 115131, ISSN 2158-3226 |
12 p, 3.0 MB |