Design and fabrication of an opto-mechanical antenna in the NIR range
Khosh Maram, Daniyal (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Borrisé, Xavier (Institut Català de Nanociència i Nanotecnologia)
García García, Joan (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Ruiz, Raul (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Cartoixà Soler, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Abadal Berini, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)

Date:	2024
Description:	8 pàg.
Abstract:	In this study we present a novel device for the direct transduction of optical radiation in the near-infrared region into mechanical actuation, which is based on a plasmonic optical nanoantenna integrated in a microcantilever. We propose and demonstrate the feasibility of a simple fabrication process consisting in the nano-tailoring of a commercially available Atomic Force Microscope (AFM) cantilever by means of the Focused Ion Beam (FIB) milling technique. Furthermore, the comprehensive analysis of the device performance characteristics included in this work reveals the different sensitivity values of these characteristics to the fabrication process tolerances of the most relevant geometric design parameters.
Grants:	Agencia Estatal de Investigación PID2021-127840NB-I00
Rights:	Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, sempre que no sigui amb finalitats comercials, i sempre que es reconegui l'autoria de l'obra original.
Language:	Anglès
Document:	Article ; recerca ; Versió publicada
Published in:	Micro and Nano Engineering, Vol. 23 (June 2024) , art. 100241, ISSN 2590-0072

DOI: 10.1016/j.mne.2024.100241

8 p, 1.9 MB

The record appears in these collections:
Research literature > UAB research groups literature > Research Centres and Groups (research output) > Experimental sciences > Catalan Institute of Nanoscience and Nanotechnology (ICN2)
Articles > Research articles
Articles > Published articles