Fabrication and Measurement of a Suspended Nanochannel Microbridge Resonator Monolithically Integrated with CMOS Readout Circuitry
Vidal Álvarez, Gabriel (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Marigó Ferrer, Eloi (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Torres, Francesc 1948- (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Barniol i Beumala, Núria (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)

Date:	2016
Abstract:	We present the fabrication and characterization of a suspended microbridge resonator with an embedded nanochannel. The suspended microbridge resonator is electrostatically actuated, capacitively sensed, and monolithically integrated with complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) readout circuitry. The device is fabricated using the back end of line (BEOL) layers of the AMS 0. 35 m commercial CMOS technology, interconnecting two metal layers with a contact layer. The fabricated device has a 6 fL capacity and has one of the smallest embedded channels so far. It is able to attain a mass sensitivity of 25 ag/Hz using a fully integrable electrical transduction.
Rights:	Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original.
Language:	Anglès
Document:	Article ; recerca ; Versió publicada
Subject:	Nanochannel ; Suspended channel ; Resonators ; CMOS-NEMS ; NEMS
Published in:	Micromachines, Vol. 7 N. 3 (March 2016) , p. 1-9, ISSN 2072-666X

DOI: 10.3390/mi7030040
PMID: 30407413

9 p, 5.1 MB

The record appears in these collections:
Articles > Research articles
Articles > Published articles