Correlation between the nanoscale electrical and morphological properties of crystallized hafnium oxide-based metal oxide semiconductor structures - Iglesias Santiso, Vanessa (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Porti i Pujal, Marc (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Nafría i Maqueda, Montserrat (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Aymerich Humet, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica) ; Dudek, P. (Innovations for High Performance Microelectronics (Frankfurt, Alemanya)) ; Schroeder, T. (Innovations for High Performance Microelectronics (Frankfurt, Alemanya)) ; Bersuker, G. (SEMATECH (Austin, Estats Units d'Amèrica)) ; American Physical Society