Recovery of the MOSFET and circuit functionality after the dielectric breakdown of ultra-thin high-k gate stacks
Crespo Yepes, Albert ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Martin Martinez, Javier ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Rothschild, A. (Interuniversity Micro-Electronics Center)
Rodríguez Martínez, Rosana ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Nafría i Maqueda, Montserrat ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Aymerich Humet, Xavier ![Identificador ORCID](/img/uab/orcid.ico)
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Data: |
2010 |
Resum: |
The reversibility of the gate dielectric breakdown in ultra-thin high-k dielectric stacks is reported and analyzed. The electrical performance of MOSFETs after the dielectric recovery is modeled and introduced in a circuit simulator. The simulation of several digital circuits shows that their functionality can be restored after the BD recovery. |
Ajuts: |
Ministerio de Ciencia e Innovación TEC2007-61294 Agència de Gestió d'Ajuts Universitaris i de Recerca 2009/SGR-783
|
Drets: |
Tots els drets reservats. ![](/img/licenses/InC.ico) |
Llengua: |
Anglès |
Document: |
Article ; recerca ; Versió acceptada per publicar |
Matèria: |
Dielectric breakdown ;
Dielectric breakdown reversibility ;
High-k ;
Resistive switching ;
CMOS circuits |
Publicat a: |
IEEE electron device letters, Vol. 31, Issue 6 (June 2010) , p. 543-545, ISSN 0741-3106 |
DOI: 10.1109/LED.2010.2045732
El registre apareix a les col·leccions:
Documents de recerca >
Documents dels grups de recerca de la UAB >
Centres i grups de recerca (producció científica) >
Enginyeries >
Grup de Fiabilitat de Dispositius i Circuits Electrònics (REDEC) Articles >
Articles de recercaArticles >
Articles publicats
Registre creat el 2015-09-28, darrera modificació el 2023-09-15