Recovery of the MOSFET and circuit functionality after the dielectric breakdown of ultra-thin high-k gate stacks
Crespo Yepes, Albert 
(Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Martin Martinez, Javier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Rothschild, A. (Interuniversity Micro-Electronics Center)
Rodríguez Martínez, Rosana (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Nafría i Maqueda, Montserrat (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
Aymerich Humet, Xavier (Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica)
| Data: |
2010 |
| Resum: |
The reversibility of the gate dielectric breakdown in ultra-thin high-k dielectric stacks is reported and analyzed. The electrical performance of MOSFETs after the dielectric recovery is modeled and introduced in a circuit simulator. The simulation of several digital circuits shows that their functionality can be restored after the BD recovery. |
| Ajuts: |
Ministerio de Ciencia e Innovación TEC2007-61294
Agència de Gestió d'Ajuts Universitaris i de Recerca 2009/SGR-783
|
| Drets: |
Aquest material està protegit per drets d'autor i/o drets afins. Podeu utilitzar aquest material en funció del que permet la legislació de drets d'autor i drets afins d'aplicació al vostre cas. Per a d'altres usos heu d'obtenir permís del(s) titular(s) de drets.  |
| Llengua: |
Anglès |
| Document: |
Article ; recerca ; Versió acceptada per publicar |
| Matèria: |
Dielectric breakdown ;
Dielectric breakdown reversibility ;
High-k ;
Resistive switching ;
CMOS circuits |
| Publicat a: |
IEEE electron device letters, Vol. 31, Issue 6 (June 2010) , p. 543-545, ISSN 1558-0563 |
DOI: 10.1109/LED.2010.2045732
El registre apareix a les col·leccions:
Documents de recerca >
Documents dels grups de recerca de la UAB >
Centres i grups de recerca (producció científica) >
Enginyeries >
Grup de Fiabilitat de Dispositius i Circuits Electrònics (REDEC) Articles >
Articles de recercaArticles >
Articles publicats
Registre creat el 2015-09-28, darrera modificació el 2024-11-24
visitant ::
identificació
